A máy làm lạnhlà một thiết bị làm mát nước có thể cung cấp áp suất không đổi, nhiệt độ không đổi và dòng chảy không đổi. Đó là bằng cách bơm một lượng nước thích hợp vào bể chứa nước, làm mát nước qua hệ thống làm lạnh và sử dụng máy bơm để vận chuyển nước làm mát đến các thiết bị cần làm mát. Nước làm mát lấy đi nhiệt trong thiết bị để đạt được hiệu quả làm mát. Nước làm mát được bổ sung vào thiết bị tần số trung gian chủ yếu vì tần số cao và dòng điện lớn. Khi sử dụng mục tiêu phún xạ magnetron sẽ tạo ra nhiệt độ cao và làm biến dạng súng nên cần có áo nước để làm mát súng. Phún xạ Magnetron có thể nói là một trong những thành tựu nổi bật nhất của công nghệ phủ. Ưu điểm của nó là lực liên kết màng-đế tốt, tốc độ phún xạ cao, tăng nhiệt độ nền thấp và độ ổn định của thiết bị tốt. Máy làm lạnh có hệ thống tuần hoàn nước độc lập và hệ thống làm lạnh độc lập, không bị ảnh hưởng bởi môi trường bên ngoài. Cùng với nhau, những tính năng này cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ đáng tin cậy và kết quả phủ chất lượng cao cho quy trình phủ ion chân không.
Chức năng và đặc điểm của chiller trong máy phủ ion chân không bao gồm:
1. Làm mát mục tiêu: Mục tiêu trong máy phủ ion chân không được sử dụng để tạo ra các ion kim loại, tuy nhiên nó sẽ sinh ra rất nhiều nhiệt trong quá trình phủ. Máy làm lạnh nhanh chóng làm mát mục tiêu thông qua hệ thống làm mát tuần hoàn để duy trì nhiệt độ hoạt động bình thường của mục tiêu, ngăn chặn thiết bị quá nóng gây hỏng hóc hoặc giảm chất lượng lớp phủ và đảm bảo đầu ra ion ổn định.
2. Kiểm soát độ ổn định:máy làm lạnhcó thể kiểm soát ổn định nhiệt độ của thiết bị để đảm bảo thiết bị hoạt động ổn định trong phạm vi nhiệt độ hoạt động bình thường. Điều này giúp duy trì tính đồng nhất và ổn định của lớp phủ, nâng cao tính đồng nhất và độ tin cậy của chất lượng lớp phủ.
3. Điều chỉnh độ chính xác cao: Các thông số vận hành của máy làm lạnh có thể được điều chỉnh theo yêu cầu cụ thể, bao gồm nhiệt độ, lưu lượng và áp suất nước làm mát. Điều này cho phép máy làm lạnh cung cấp khả năng kiểm soát nhiệt độ chính xác theo các yêu cầu lớp phủ khác nhau, đảm bảo tính ổn định và chất lượng cao của quá trình phủ.
3.Tiết kiệm năng lượng: Khả năng làm lạnh hiệu quả cao và chức năng điều khiển chính xác của máy làm lạnh giúp giảm tiêu thụ năng lượng. Bằng cách kiểm soát hiệu quả nhiệt độ của thiết bị, có thể giảm lãng phí năng lượng bổ sung và cải thiện hiệu quả sử dụng năng lượng.
5. Hiệu quả bảo vệ môi trường: ứng dụng máy làm lạnh trong máy phủ ion chân không có thể làm giảm tác động xấu đến môi trường. Nó sử dụng nước tuần hoàn để làm mát, giảm lượng nước tiêu thụ và tạo ra tiếng ồn và độ rung thấp hơn trong quá trình vận hành.
6. Kiểm soát môi trường: Ứng dụng của máy làm lạnh trong máy phủ ion chân không cũng có thể kiểm soát nhiệt độ và độ ẩm xung quanh để mang lại môi trường làm việc tốt. Nhiệt độ và độ ẩm môi trường thích hợp có thể làm tăng mức độ chân không, giảm tác động của tạp chất và khí, đồng thời cải thiện chất lượng lớp phủ.
Tóm lại, việc áp dụngmáy làm lạnhtrong máy phủ ion chân không bao gồm nhiều khía cạnh như mục tiêu làm mát, chất nền làm mát, thiết bị làm mát và kiểm soát môi trường, đảm bảo kiểm soát nhiệt độ của thiết bị và phôi trong quá trình phủ, nâng cao chất lượng lớp phủ và Năng suất.